Phòng sạch mô-đun với trần nhà Ffu Hệ thống lọc điều hòa không khí cho hệ thống lưu lượng không khí một chiều Làm việc không bụi

‌Phòng sạch là gì?‌

A phòng sạch(hoặc Phòng sạch) là một không gian kín sử dụng lọc không khí và các công nghệ kiểm soát chất gây ô nhiễm để loại bỏ các chất gây ô nhiễm như hạt, khí độc hại và vi sinh vật,trong khi điều chỉnh chính xác các thông số môi trường bao gồm nhiệt độ, độ ẩm, áp suất và phân phối luồng không khí. Chức năng cốt lõi của nó là cung cấp một môi trường kiểm soát, cực sạch cho sản xuất chính xác và nghiên cứu khoa học. Các tính năng chính bao gồm:

‌I. Chức năng cơ bản và đặc điểm kỹ thuật‌

1. ‌Khả năng kiểm soát ô nhiễm‌

   • Sử dụng hệ thống lọc hiệu suất cao (ví dụ: bộ lọc HEPA / ULPA) để loại bỏ các hạt ≥ 0,3 μm với hiệu quả ≥ 99,97%, đạt tiêu chuẩn sạch ISO lớp 5 (trước đây là lớp 100) hoặc cao hơn
   • Sử dụng hệ thống áp suất dương hoặc âm để ngăn ngừa ô nhiễm bên ngoài hoặc chứa các chất nguy hiểm bên trong (đối với các ứng dụng an toàn sinh học)

2. ‌Kiểm soát cộng tác đa tham số‌

   • Điều chỉnh năng động nhiệt độ (chính xác ± 0,5 ° C), độ ẩm (chính xác ± 5% RH), vận tốc lưu lượng không khí (0,3 ∼0,5 m/s lưu lượng laminar), áp suất khác biệt (5 ∼20 Pa) và mức độ ánh sáng / tiếng ồn
   • Đảm bảo phân phối dòng không khí đồng đều thông qua các buồng họp để ngăn chặn sự lắng đọng hạt do nhiễu loạn

‌II. Tiêu chuẩn và ứng dụng phân loại‌

1. ‌Xác định độ sạch‌

   • Dựa trên Tiêu chuẩn Liên bang Hoa Kỳ FS 209E, các phân loại bao gồm lớp 1 (≤ 1 hạt / ft 3 ≥ 0,5 μm), lớp 10 (≤ 10 hạt / ft 3), và lên đến lớp 100,000
   • Sản xuất mạch tích hợp đòi hỏi độ sạch tốt hơn lớp 1.000, trong khi các hoạt động sinh học thường yêu cầu lớp 100 (tầng ISO 5)

2. ‌Điều chỉnh cụ thể cho ngành‌

   • ‌Ngành công nghiệp điện tử: Sản xuất chip và bao bì bán dẫn yêu cầu lớp sạch 1 ¢ 100 để ngăn ngừa xả điện tĩnh và ô nhiễm hạt
   • ‌Thuốc sinh học: Sản xuất thuốc vô trùng và nuôi dưỡng tế bào dựa trên độ sạch lớp 100 và kiểm soát vi khuẩn
   • ‌Kính chính xác: Lớp phủ ống kính và lắp ráp thành phần laser đòi hỏi môi trường không có rung động, ổn định nhiệt độ và độ ẩm

‌III. Cơ sở hạ tầng và các thành phần cốt lõi‌

1. ‌Hệ thống cốt lõi‌

   • ‌Đơn vị xử lý không khí: Bao gồm các bộ lọc trước hiệu suất chính / trung bình, bộ lọc HEPA, quạt và phòng họp
   • ‌Hệ thống kiểm soát môi trường: Các thiết bị điều khiển nhiệt độ/nước, cảm biến áp suất khác biệt và thiết bị lưu lượng không khí laminar

2. ‌Các cơ sở phụ trợ‌

   • Sàn chống tĩnh, cửa/cửa sổ kín không khí, đèn khử trùng tia cực tím và vòi sen không khí (các lối khử trùng nhân viên)

‌IV. Sự khác biệt so với các phòng thí nghiệm thông thường‌

Phòng sạch đạt được các hoạt động nhạy cảm với ô nhiễm thông quakiểm soát năng động toàn diện của tất cả các thông số, trong khi các phòng thí nghiệm thông thường chỉ tập trung vào nhiệt độ, độ ẩm hoặc các biến đơn.Ví dụ, xử lý các thành phần điện tử ở quy mô nano đòi hỏi kiểm soát cùng một lúc các hạt (≤10 hạt/ft3), điện tĩnh (≤100 V) và biến động nhiệt độ (≤±0,3 °C)

Dữ liệu kỹ thuật