Các yêu cầu về phòng sạch trong ngành công nghiệp bán dẫn là như sau:
1- Yêu cầu vệ sinh cao
Sản xuất bán dẫn đòi hỏi một môi trường sạch rất nghiêm ngặt. Độ sạch không khí trong phòng sạch khác nhau tùy thuộc vào các yêu cầu của các quy trình bán dẫn khác nhau,nói chung đáp ứng các tiêu chuẩn của lớp 1 (tương đương hoặc nhỏ hơn 10.1 hạt micron mỗi foot khối) đến lớp 100 (tương đương hoặc nhỏ hơn 100 hạt 0,5 micron mỗi foot khối).
2. Kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm chính xác
Các vật liệu bán dẫn rất nhạy cảm với nhiệt độ và độ ẩm.với độ ẩm tương đối 40-60% và biến động không quá ± 1 ° C và ± 5% RH.
3. Cung cấp và phân phối điện năng đáng tin cậy và ổn định
Phòng sạch đòi hỏi một hệ thống cung cấp điện và phân phối chuyên dụng để cung cấp nguồn cung cấp điện ổn định và dư thừa, đảm bảo hoạt động bình thường và không bị gián đoạn của thiết bị quy trình.Đồng thời, cần phải có chức năng bảo vệ và lọc để ngăn chặn sự can thiệp của điện.
4. Luồng không khí không bụi hợp lý
Các phòng sạch cần được trang bị hệ thống lọc không khí và lưu thông không bụi để đảm bảo phân phối luồng không khí hợp lý và không có góc chết, để không khí sạch có thể tiếp cận hoàn toàn mọi góc.Tốc độ và áp suất không khí cũng nên được kiểm soát chặt chẽ để ngăn không khí bên ngoài chảy trở lại hoặc gây rối.
5Thiết kế địa chấn hoàn chỉnh.
Xem xét các yêu cầu về sự ổn định của các quy trình bán dẫn, các phòng sạch thường cần áp dụng các biện pháp chống va chạm để giảm tác động của các rung động bên ngoài đối với quy trình.Nền tảng nên đủ ổn định và được trang bị các thiết bị đệm.
6Chọn vật liệu không bụi và không ô nhiễm
Vật liệu bề mặt của phòng sạch phải không có bụi và không ô nhiễm, và sẽ không tạo ra các hạt.Cần lắp rèm không khí ở lối vào để ngăn bụi xâm nhập.
